"세이부 컵 축구"라는 오락실 게임에 사용된 수학 연산/보안용 게이트 어레이입니다.
패키징 안에 공기가 있었는지, 칩이 가열될 때 그 공기가 패키지를 찢고 빠져나오면서 본드 와이어가 끊어져 작동을 멈췄습니다. 제가 그 공기가 빠져나온 균열에 메스를 꽂고 들어올렸더니 저렇게 뚜껑이 깔끔하게 까졌습니다.
다이 사이즈는 137mm²정도로 애플 M1실리콘보다 큽니다(!!) 700나노미터, 폴리1 메탈2 공정입니다.
아래 사진은 칩의 셀들 사진. 메탈(금속배선)이 폴리(트랜지스터)를 전부 가리고 있어서 불산으로 메탈을 전부 녹여낸 후에야 분석이 가능합니다.
불산 작업은 외국에 맡기려고 합니다. 아무래도 집에서 쓰긴 싫네요.
메탈 레이어가 두층 이상 있으면 여러번 하셔야.. 쿨럭..