삼성전자가 국내 기업이 개발한 첨단공정용 극자외선(EUV) 감광액(포토레지스트, PR)을 양산라인에 도입했다. 2019년 일본 수출 규제로 국산화에 총력전을 펼친 지 3년 만의 성과다.
삼성전자는 1개 반도체 공정(레이어)에 동진쎄미켐 EUV PR를 사용하는 것으로 파악됐다. 지난해 동진쎄미켐 EUV PR가 삼성전자 신뢰성 시험(퀄)을 통과한 지 1년이 채 되지 않은 시점에 양산라인에 적용된 것이다. 1개 공정은 삼성전자 전체 공정 가운데 극히 일부다. 그러나 전량 수입에 의존하던 제품인 만큼 의미가 남다르다.