히타치가 반도체 제조 공정에서 10nm 이하의 작은 결함을 검사하는 이미지 처리 기술을 개발했습니다.
전자 현미경을 사용해서 촬영한 이미지에서 결함을 판별하는데, 정상 이미지에 노이즈를 추가한 데이터를 만들어 정상 이미지의 특징을 머신 러닝하고, 나중에 실제 촬영된 이미지와 비교해서 작은 결함도 검출해 냅니다. 또 회로 패턴 레이아웃도 머신 러닝으로 분류해서 잘못 검출하는 사례를 줄였습니다.
참고/링크 | https://rd.hitachi.co.jp/_ct/17750200 |
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히타치가 반도체 제조 공정에서 10nm 이하의 작은 결함을 검사하는 이미지 처리 기술을 개발했습니다.
전자 현미경을 사용해서 촬영한 이미지에서 결함을 판별하는데, 정상 이미지에 노이즈를 추가한 데이터를 만들어 정상 이미지의 특징을 머신 러닝하고, 나중에 실제 촬영된 이미지와 비교해서 작은 결함도 검출해 냅니다. 또 회로 패턴 레이아웃도 머신 러닝으로 분류해서 잘못 검출하는 사례를 줄였습니다.