독일의 오디오 스타트업 기업인 Arioso Systems가 멤브레인이나 자석을 쓰지 않고 오직 실리콘으로 만든 초소형 MEMS 스피커를 만들었습니다.
표준 CMOS 공정으로 제조되며 움직이는 부품이 적고 패키징이 자유롭습니다. 그래서 비싼 압전 재료와 복잡한 공정이 들어가는 일반 소형 스피커보다 저렴하리라 기대됩니다.
크기 10mm 짜리는 120db의 볼륨을 내며 음질 또한 괜찮다고 주장하고 있습니다. 기존의 마그네틱 드라이버보다 최대 10배 작게 만들 수도 있습니다.
이 웨이퍼 안에는 길이 20나노미터의 유연한 기둥 다수를 배치해, 소스에서 전압을 넣으면 기둥이 구부러지면서 위아래의 슬롯으로 공기를 밀어내 소리를 만들어 냅니다.