Zyvex Labs가 서브나노미터 해상도의 리소그래피 시스템인 ZyvexLitho1을 발표했습니다.
이 회사가 2007년부터 개발해 온 주사 터널링 현미경(STM)을 기반으로 하여 선폭 0.7nm의 칩을 만들 수 있다고 합니다. 현재 EUV를 써도 5nm고 3nm나 2nm를 개발하는 상황에 1nm가 안 된다면 대단한 숫자이긴 하네요. 0.7nm의 선폭은 실리콘 원자 2개 수준밖에 안 됩니다.
이걸로 만든 칩은 고정밀 고체 양자 소자, 양자 컴퓨터와 나노 소자 등에 사용할 예정입니다. 다만 리소그래피 정밀도는 매우 높아도 출략이 매우 낮아 대규모 생산은 불가능합니다. 매우 정밀하고 또 작은 칩을 소량 만드는 수준입니다.