ASML이 현금 11억 달러를 들여 칼짜이스 SMT 자회사의 지분 24.9%를 인수합니다. 또 2.44억 달러를 우선 투자하고 앞으로 6년 동안 6억 달러를 추가로 투자해 총 20억 달러를 투자할 거라고 하네요.

 

ASML이 칼짜이스 SMT에 투자하는 건 당연히 앞으로의 새로운 공정 설비를 만들기 위해서입니다. 칼짜이즈의 렌즈 기술은 반도체 생산 설비에도 들어가는 듯 하네요.

 

ASML의 현재 EUV 노광 기기는 NXE:3400B로 내년에 출시될 예정이며, 1시간에 125장의 웨이퍼를 생산하고 오차는 3nm 미만입니다. 앞으로는 0.5배 구경의 EUV 시스템을 도입해 185장으로 생산량을 늘리고 오차는 2nm 수준으로 줄일 거라고 하네요.