ASML이 Twinscan NXT:2000i DUV 노광기를 출시했습니다. 7nm와 5nm 노드에 사용합니다. TSMC와 글로벌 파운드리의 7nm는 모두 DUC 기술이니 이쪽에 들어가겠지요. 

 

이 제품은 ASML 노광기 중 가장 오버레이 정밀도가 높은 제품입니다. 3400B와 같은 1.9nm지요. 5nm 공정에선 최소 2.4nm, 7nm에선 3.5nm가 필요합니다. 

 

ASML은 이번 분기 말부터 이 제품을 양산하는데 가격은 알려지지 않았습니다. NXE: 3400B EUV 노광기가 1.2억 달러고, 전통적인 ArF 14nm 노드용 제품이 7200만 달러니까 그 둘 사이겠지요.

 

2017년에 ASML은 전세계 노광기 시장의 70%를 차지했습니다. 그 뒤는 캐논, 니콘, 상하이 SMEE 정도가 있습니다.