현재 250W EUV 노광이 가능한 유일한 장비인 ASML의 NXE-3400이 제품 규격을 만족시키지 못하는 상황이라고 글로벌 파운드리의 George Gomba 사장이 밝혔습니다.
90년대부터 13.5nm의 EUV를 도입해 현재 사용하는 193nm를 대체하려는 움직임이 있었습니다. EUV의 상용화가 가능하려면 광원 출력이 최소 250W가 되야 하며, 인텔은 1000W를 잡고 있습니다.
ASML이 노광기를 공급하지 못한다면 이걸 사용하는 최신 공정의 개발은 전부 차질이 생길 수밖에 없습니다.
