마이크론이 차세대 1Y nm 급 공정으로 DRAM 메모리를 테스트 중입니다. 앞으로는 1Z, 1α, 1β 공정까지 나온다네요.  보다 싶게 말하면 1x가 16~19nm, 1Y가 14~16nm, 1Z가 12~14nm인데 알파랑 베타는 잘 모르겠습니다. 

 

차세대 공정에선 EUV의 도입이 필수 불가결인 것처럼 보이지만 마이크론은 EUV가 DRAM에 꼭 필요한 건 아니라 보고 있습니다. 위에서 말한 알파/베타 급 공정까지 가도 EUV는 쓰지 않을 것.