컴퓨터 / 하드웨어
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컴퓨터와 하드웨어, 주변기기에 관련된 이야기, 소식, 테스트, 정보를 올리는 게시판입니다.
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수소로 냉각하고, 액체 주석 5만방울을 떨어트리는 EUV 노광기
이런 글 옮기는 게 정말 귀찮은데, 이건 정말 재밌게 봐서 한참을 벼르다가 이제야 올려봅니다. 대규모 집접 회로는 이렇게 생산합니다. 웨이퍼를 세척하고 그 위에 산화막을 만들고 회로층을 구성하는 재료 막을 만듭니다. 그 후 빛이 닿... -
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ASML, 중국 시장 전용 노광기를 검토 중
ASML이 미국의 수출 규정에 맞춰, 허가를 받지 않아도 중국에 출고할 수 있는 DUV 노광기 출시를 검토 중입니다. Twinscan NXT:1980Di은 2016년에 출시된 ASML의 액침 노광기로 1.35 개구율의 광학기기에 38nm 미만의 해상도를 달성해 7nm... -
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ASML의 신형 EUV 노광기 가격은 F35 전투기랑 비슷함
ASML의 CEO는 현재 연구 중인 신형 High-NA EUV 노광기의 가격이 3억~3.5억 유로가 될 것이라고 말했습니다. 3억 유로면 한화 4111억 원입니다. F35 전투기 한 대 가격이 1.5~2.5억 달러, 한화 2000억 원이니까 옵션 잔뜩 붙인 최신형 전... -
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ASML, DUV와 EUV 노광기 생산 확장
현재의 거시적 환경은 단기적으로 불확실성을 야기하지만 장기적으로 수요와 용량이 건전한 성장을 보일 것으로 기대합니다. 우리는 연간 생산 능력을 90 EUV 및 600 DUV 시스템(2025-2026)으로 늘리는 동시에 High-NA EUV 생산 능력을 20... -
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ASML, 차세대 High-NA 리소그래피는 매우 비싸다
ASML의 CTO인 Martin van den Brink는 머지않아 현재의 반도체 리소그래피 기술에 한계가 올 수도 있다고 보고 있습니다. 그래도 ASML은 로드맵을 꾸준히 쌓아 나가고 있습니다. EUV 다음 단계는 high-NA 또는 high-numerical aperture라... -
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TSMC, 일부 EUV 설비 가동을 멈춰 전력 사용량을 줄일 예정
최첨단 공정의 가동률이 떨어지고 있습니다. 앞으로도 한동안은 이런 분위기가 계속될 것 같은데요. TSMC는 올해 말부터 일부 EUV 리소그래피 장비를 꺼서 전력 사용량을 줄일 계획이라는 소문이 나왔습니다. TSMC는 7nm, 5nm 공정에 사용... -
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ASML의 신형 EUV 노광기, 전력 사용량이 10배 증가
7nm와 그 이상의 신형 공정으로 생산하려면 ASML의 최신 EUV 노광기가 필요합니다. 그 가격은 1억 5천만 달러에 달하며 10만개의 부품이 들어가고 2km의 생산 라인이 필요합니다. 이런 거대한 물건이 전기를 조금 먹을리가 없겠죠. 전력 ... -
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ASML의 차세대 EUV 노광기 가동, 핵심 부품이 도착
ASML은 2022년 2분기에 12대의 EUV 노광기를 출하했습니다. 1분기보다 3대가 늘어났지요. 그리고 2분기에는 High-NA EUV 노광기에서 큰 사건이 있었는데, 대물 렌즈, 광원, 작업대 등의 부품이 도착했다는 겁니다. 이것들은 노광기에서 가... -
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ASML의 차세대 EUV 노광기, 한대 5억달러
ASML이 연구 개발중인 신형 노광기의 가격은 4억 달러, 2층 버스 한 대 정도의 크기에 무게는 200톤이라고 합니다. 2023년 상반기에 프로토타입이 완성돼 2025년에 첫 상용화를 시작하며 2026년~2030년에 주력 모델로 출시됩니다. 이 노광... -
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ASML, 니콘, 캐논의 노광기 판매 비율
ASML, 니콘, 캐논은 작년에 413대의 노광기를 팔았습니다. 그 중 ASML이 258대로 62%, 캐논이 122대로 30%, 니콘이 33대로 8%를 차지합니다. 하지만 이 숫자만 보고 판단해선 안됩니다. 값비싼 EUV 노광기는 ASML만 팔았거든요. 그래서 판... -
ASML이 5세대 EUV를 독점, 차세대 EUV는 연기
ASML의 실적 발표입니다. 2020년에 140억 유로의 매출을 냈으며 순수익은 36억 유로입니다. 전세계 노광기 시장은 ASML, 니콘, 캐논이 90%를 차지하는데 그 중에서도 ASML의 비중은 상당하지요. ASML은 5세대 노광기를 독점해서 만들고 있... -
캐논의 신형 노광기 FPA-3030i5a, 생산 효율 17% 증가
캐논의 신형 노광기 FPA-3030i5a가 3월에 출시됩니다. 365nm의 광원을 사용하며 직경 2인치부터 8인치 크기의 소형 기판을 만들 수 있고, 생산 효율은 17% 증가했다고 합니다. 하지만 공정 수준은 썩 높지 않습니다. ASML하고 격차가 많... -
중국, 28nm 공정 생산을 위한 DUV 노광 장비 개발
중국 상하이 SMEE가 DUV 리소그래피 노광기를 개발, 2021년 4분기에 출시할 계획입니다. 이 설비로는 28nm 노드를 생산합니다. 현재 최신 공정에 비하면 높은 스펙은 아니지만, 중국이 반도체 기술을 자체 개발하고 있다는데 의미가 있습... -
ASML, 1nm EUV 노광기 설계 완성
ASML이 1nm 공정의 EUV 노광기 설계를 마쳤다는 소식입니다. 삼성의 7nm와 5nm 제조에는 NA=0.33의 EUV 노광기를 사용하고, 2nm 이후부터는 해상력이 더 높아져야 하니 NA=0.55 짜리를 사용합니다. ASML은 0.55NA짜리 노광기, NXE:5000 시... -
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ASML, 중국에 DUV 장비는 수출 가능
ASML이 중국에 DUV 노광 장비를 수출하는 허가를 네덜란드 정보에서 받았습니다. 미국 정부의 허가는 따로 필요 없다고 합니다. 하지만 EUV 장비에 대해서는 언급이 없었습니다. 최신 공정을 만드려면 사실상 EUV가 필수지요. DUV는 EUV에... -
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ASML, 신형 EUV 노광기 3600D 발표. 생산 효율 18% 향상
ASML이 신형 EUV 노광기인 TWINSCAN NXE:3600D를 발표했습니다. 30mJ/cm2의 출력으로 1시간에 160장의 웨이퍼를 처리, 생산 효율이 18% 향상됐습니다. 또 정밀도도 1.1nm로 개선했습니다. 3600D는 2021년 중에 출시됩니다. 가격은 모릅니... -
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ASML의 노광기 장비 가격은?
ASML의 EUV 노광기 한대 가격은 1.2억 유로 쯤 됩니다. 겁나 비싸지만 삼성이나 TSMC는 당연히 사겠죠. 그러나 ASML의 주력 모델은 여전히 DUV 노광기입니다. 193nm의 자외선을 사용하는 기술로 여기에는 여러 모델이 있는데요. 중국 반도... -
2021년의 ASML 차세대 EUV 노광기, 2nm와 1nm로
현재 ASML이 출시중인 노광기는 NXE:3400B를 개선한 NXE:3400C입니다. 기본 구조는 같지만 모듈 설계를 사용해 유지 관리가 더 편합니다. 평균 수리 시간을 48시간에서 8~10시간으로 줄였으며, 7nm/5nm 공정을 지원합니다. NXE:3400C의 생... -
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ASML, EUV 노광기는 복잡하니 우리만 만들 수 있음
ASML의 CEO, Peter Wenninksms 는 ASML은 EUV 노광기에 수백개 회사의 기술과 8천개 이상의 부품이 들어가며, 그 구조가 매우 복잡하다고 설명했습니다. 칼 자이스가 ASML에 광학 렌즈를 공급하고, 각종 반사경과 광학 부품을 내장하며, ... -
캐논의 첫 노광기, PPC-1의 출시 50주년
50년 전인 1970년, 캐논은 일본 최초의 반도체 노광기인 PPC-1을 출시하면서 리소그래피 장비 시장에 본격적으로 진출했습니다. 캐논은 1960년대 중반, 카메라 렌즈용으로 개발된 기술을 활용해 포토 마스크 제조용 고해상도 렌즈를 개발...