TSMC가 ASML의 Twinscan NXE EUV 노광기 13대를 주문해, 내년 중에 받습니다.
현재 TSMC는 저 노광기를 사용해 N7+과 N5 노드에서 칩을 제조하고 있습니다. 2021년에는 EUV 사용을 더 늘리돼 N7과 호환성을 유지하는 N6 공정을 도입합니다.
ASML의 최신 노광기 13세트는 22억 8400만 달러 쯤 됩니다. 하지만 ASML은 유일한 EUV 노광기 회사기에, 돈만 있다고 다 살 수 있는 건 아닙니다. 공급에도 한계가 있거든요.