ASML의 High NA(0.55) 짜리 EUV 장비인 Twinscan EXE:5000를 인텔이 최초로 도입합니다. 내년에는 10개의 High NA 장비 중 6개가 인텔에게 갑니다.
인텔은 원래 이 장비로 18A 공정을 생산할 예정이었으나 납품이 늦어지면서 EUV 멀티 패터닝으로 대체했습니다. 내년에 장비 도입이 본격화되면 2025년부터 인텔 18A나 다른 공정 생산에 사용할 것입니다.
이 장비는 성능이 뛰어나지만 그만큽 비쌉니다. 기존 장비인 NXE:3600D나 3800E도 2억 달러를 넘겼는데, 새 장비는 3~4억 달러에 달한다고 하네요.