블랙리스트에 오른 중국의 반도체 제조사인 SMIC는 3nm 공정 기술을 개발하고 있습니다.
EUV 장비를 살 수 없기에 2세대 7nm 노드를 DUV 리소그래피로 생산했는데요. TSMC도 7nm까지는 EUV를 안 썼으니 불가능한 일은 아니지만 3nm를 EUV 없이 만드려면 트리플이나 쿼드 패터닝으로 낮은 해상력을 커버해야 합니다.
참고/링크 | https://asia.nikkei.com/Spotlight/The-Bi...-chip-race |
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블랙리스트에 오른 중국의 반도체 제조사인 SMIC는 3nm 공정 기술을 개발하고 있습니다.
EUV 장비를 살 수 없기에 2세대 7nm 노드를 DUV 리소그래피로 생산했는데요. TSMC도 7nm까지는 EUV를 안 썼으니 불가능한 일은 아니지만 3nm를 EUV 없이 만드려면 트리플이나 쿼드 패터닝으로 낮은 해상력을 커버해야 합니다.