TSMC는 세계 1위 규모의 파운드리 업체로서 전세계 EUV 노광기의 절반을 차지하고 있습니다. 앞으로는 EUV의 생산량을 더 늘릴 예정입니다.

 

TSMC는 7nm부터 EUV 공정을 사용하기 시작했습니다. 하지만 7nm EUV의 생산량은 많지 않았고, 화웨이 기린 990만 대규모 생산했습니다. 애플 A13은 7nm의 개선된 버전을 썼고요.

 

5nm 공정부터 TSMC는 EUV의 사용을 늘리고 내년에는 3nm에서 더욱 개선된 EUV를 사용합니다. EUV 노광기 한대의 가격은 1~1.5억 달러인데, TSMC는 올해만 300억 달러를 투자하고 앞으로 3년 동안 1000억 달러를 써서 장비를 도입하고 기술을 개발합니다. 

 

TSMC의 EUV 공정 생산량은 하반기부터 폭증할 것으로 예상됩니다. 올해 5nm 공정의 생산량은 2020년의 2배 이상이고, 2023년의 5nm 개선판인 4nm 공정은 2020년의 4배 이상이 될 거라고 합니다. 

 

올해 5nm 공정으로 양산하는 칩은 애플 A15, M1X, M2가 있습니다. 또 미디어텍의 차세대 프로세서인 디멘시티 2000 시리즈도 있습니다. 내년에는 AMD 젠4도 5nm를 쓰기에 충분할 겁니다.