ASML은 2022년 2분기에 12대의 EUV 노광기를 출하했습니다. 1분기보다 3대가 늘어났지요.
그리고 2분기에는 High-NA EUV 노광기에서 큰 사건이 있었는데, 대물 렌즈, 광원, 작업대 등의 부품이 도착했다는 겁니다. 이것들은 노광기에서 가장 중요한 부품이며, 이게 있어야 작동합니다.
기존 EUV 노광기의 NA 개구율은 0.33이지만 차세대 노광기는 0.55로 늘려 더 개선된 공정을 생산할 수 있게 해줍니다. 2nm나 그 이하에서는 0.55 NA의 노광기가 꼭 필요합니다.
이들 차세대 노광기의 가격은 비싸기도 합니다. 차세대 제품의 경우 1대당 4억 달러이며, 2023년 상반기에 완성에 2025년에 양산을 시작하며 2026년부터 주력으로 활약하게 됩니다.