ASML, 2018년에 250만장의 EUV 웨이퍼 생산. 새 기계는 1시간에 170장 처리

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참고/링크	https://www.anandtech.com/show/15225/euv...quick-look

IEDM 2019에서 세계 최대의 EUV 기계 제조사인 ASML이 발표한 통계입니다. 2018년 1월 이후 EUV를 사용해 생산한 웨이퍼 수가 2011~2017년 사이에 생산된 것보다 더 많다네요. 2018년엔 250만장, 2019년엔 총 450만장 예상입니다.

올해는 TSMC와 삼성이 EUV 공정을 도입했습니다. 기린 990 5G가 TSMC 7nm EUV, 삼성은 엑시노스 9825를 만들었습니다. 앞으로 나올 AMD 젠 3, 퀄컴 5G가 EUV를 사용하고 인텔도 7nm에서 EUV를 도입합니다.

2019년 2분기에 ASML의 NXE: 3400B 시스템은 전 세계에 38세트가 설치됐으며, 업그레이드 버전인 NXE:3400C는 1시간에 170장의 웨이퍼를 생산해 냅니다. 2023년에는 NXE 시리즈를 대체할 EXE:5000 시리즈가 나옵니다.

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Comments '1'

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참치대뱃살 2019.12.19 19:14

....주석 이온 오염 부분만 어떻게 했으면 참 좋겠는데 말이죠.

작성된지 4주일이 지난 글에는 새 코멘트를 달 수 없습니다.

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