2021년의 ASML 차세대 EUV 노광기, 2nm와 1nm로

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참고/링크	http://news.mydrivers.com/1/672/672756.htm

현재 ASML이 출시중인 노광기는 NXE:3400B를 개선한 NXE:3400C입니다. 기본 구조는 같지만 모듈 설계를 사용해 유지 관리가 더 편합니다. 평균 수리 시간을 48시간에서 8~10시간으로 줄였으며, 7nm/5nm 공정을 지원합니다. NXE:3400C의 생산 능력은 현재 125WPH(1시간당 처리하는 웨이퍼의 수)에서 175WPH로 올라갑니다.

3400B건 3400C건 1세대 EUV입니다. 1세대 EUV의 특징은 NA(개구율)가 0.33이라는 데 있습니다. NA가 커질수록 노광기의 정밀도가 높아지지요. ASML은 NA 0.55의 차세대 EUV 노광기인 EXE:5000 시리즈를 준비 중입니다. 주요 파트너는 칼 자이스, IMEC입니다.

EXE:5000 시리즈는 3nm 이후 공정을 대비한 제품입니다. 삼성과 TSMC의 로드맵에는 3nm 뿐만 아니라 2nm, 심지어 1nm도 나와 있는데요. 그 때를 위한 장비가 EXE:5000 시리즈입니다. 빠르면 2021년에 나오지만 그건 샘플이고, 양산은 몇 년을 더 기다려야 합니다. 낙관적으로 봐도 2023년? 2024년은 되야 NA 0.55를 달성한 EXE:5000 시리즈가 나올 듯 합니다.

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Comments '5'

캐츄미 5700g, 5800x, 5950x 2020.02.18 15:39

과연 이쪽 기술이 어디까지 갈수있을지 궁금하네요
?
김일구 2020.02.18 15:41

향후 18,000년간 5 나노에서 머무는가 보군요

그래서 인텔이....
TundraMC 자타공인 암드사랑/GET AMD, GET MAD. Dam/컴푸어 카푸어 그냥푸어/니얼굴사... 2020.02.18 15:55

Gua bi;;;;
야옹털 2020.02.18 15:55

20000년이면 분자단위로 될거라고 기대했는데
까마귀 잠을 미루는 건 내일이 오지 않길 바래서야. 2020.02.18 20:39

사실 3nm만 해도 거의 분자 몇개 붙여놓은 수준이라고 하니까요...

작성된지 4주일이 지난 글에는 새 코멘트를 달 수 없습니다.

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