동진쎄미켐은 최근 삼성전자 EUV PR 신뢰성 시험(퀄)을 통과한 것으로 19일 알려졌다. 이 사안에 정통한 업계 관계자는 “동진쎄미켐이 경기 화성 공장에서 EUV PR를 개발했고, 이를 삼성전자 화성 EUV 라인에서 테스트해 최종 퀄을 받았다”면서 “기술 수준이 높은 EUV PR를 양사 협력으로 신속히 개발할 수 있었다”고 밝혔다.

감광액으로도 불리는 PR는 반도체 노광 공정 핵심 소재다. 웨이퍼 위에 도포돼 반도체 노광장비로 빛을 쏘면 화학 반응을 일으켜 물성이 변한다. 현상액으로 필요한 부분만 남기고 PR를 씻어내면 미세 회로가 그려진다.국내에서 불화크립톤(KrF)과 불화아르곤(ArF) 공정용 PR는 양산하고 있었지만 보다 미세한 회로를 그릴 수 있는 EUV용 PR는 전무했다. 그만큼 개발이 어려웠기 때문이다. 국내에서 사용하는 EUV PR는 대부분 일본에서 수입했다.