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컴퓨터 / 하드웨어 : 컴퓨터와 하드웨어, 주변기기에 관련된 이야기, 소식, 테스트, 정보를 올리는 게시판입니다.

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참고/링크 https://news.mt.co.kr/mtview.php?no=2021021514510326701

삼성전자는 최근 고농도 불화수소 세정액을 재사용할 수 있는 시스템을 개발해 화성 반도체사업장 1개 라인에서 시범운영 중이다. 불화수소 세정액을 내부 순환장치를 통해 회수한 뒤 재사용하는 방식이다. 먼지 한톨도 용납하지 않는 나노미터(㎚·1나노는 10억분의 1m) 반도체 기술경쟁에서 세정액은 본래 한차례 사용한 뒤 폐기된다.

 

삼성전자가 개발한 시스템은 웨이퍼 뒷면 세척 공정에서 불산을 재사용하는 시스템이다. 배선 공정 이후 웨이퍼 표면에 남은 금속 오염물질을 제거하는 것이다. 삼성전자는 여러 단계의 테스트를 거쳐 불화수소 혼합액의 80%가량을 재활용하면서 생산매수 1500매까지 품질 안정성을 확보하는 최적 조건을 찾아냈다.

 

삼성전자는 시범 운영 결과에 따라 전체 설비를 대상으로 한 확대할지 여부를 결정할 계획이다. 삼성전자에서는 향후 재사용 시스템을 전 사업장에 적용한다면 기존 불화수소 사용량의 87%가 줄어들 것으로 보는 것으로 알려졌다.


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  • profile
    title: 가난한까마귀      잠을 미루는 건 내일이 오지 않길 바래서야. 2021.02.16 00:38
    와 혁신적이네요
  • ?
    미주 2021.02.16 00:55
    정제해서 쓴다 한들 순도가 새거만큼은 안될텐데
    폐기물은 엄청 줄어들겠군요
  • ?
    라데온HD6950      봇치 더 락! 2기 기원 / 2700X + 6700 XT Owner 2021.02.16 01:02
    이야... 좋은 기술이네요
  • ?
    늘보 2021.02.16 03:25
    웨이퍼 백면은 불산 재사용해도 전면 에칭보다 크리티컬하지는 않으니까. 꽤 실용적인 기술이네요
  • ?
    마라톤 2021.02.16 07:32
    좋은 정보 감사합니다. ^_^
  • ?
    dmy01 2021.02.16 11:02
    대박이네...처음에는 뷸량률이 늘 수 있겠다만
  • profile
    title: AI아즈텍      dc20535 2021.02.16 14:06
    87% 감소면 굉장하군요.
  • ?
    alpo19 2021.02.16 16:16
    87% 감소... 굉장허네
  • profile
    그라나다      보이는 것이 다가 아니다. 2021.02.16 23:42
    우와 ... 이게 혁신이지...

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