SK하이닉스 관계자는 2일 “지난 1일부터 일부 생산라인에 일본산 액체 불화수소 대신 국산 제품을 투입하고 있다”고 밝혔다. 이 회사는 액체 불화수소를 램테크놀러지에서 공급받는 것으로 알려졌다.

램테크놀러지는 2001년 10월 설립된 반도체 공정용 화학소재 전문 기업이다. 중국산 원료를 수입해 재가공한 불화수소 제품과 자체 생산분 등을 모아 SK하이닉스에 납품하고 있다. 램테크놀러지의 액체 불화수소 공급 가능 물량은 연 7000t 수준으로 SK하이닉스 전체 수요량의 절반 정도다. SK하이닉스와 램테크놀러지는 지난해 말부터 액체 불화수소 생산을 함께 준비했고, 지난달 최종 품질 시험을 마친 것으로 알려졌다.

삼성전자도 지난달부터 일부 생산라인에서 국산 액체 불화수소를 사용하고 있다. 이 회사 관계자는 “상대적으로 ‘덜 민감한’ 생산 라인에서 일본 제품 대신 국내에서 생산한 액체 불화수소를 사용한다”고 말했다.