인텔 테크 투어 말레이시아에서 진행한 QnA의 요약 입니다. 인텔 시니어 디렉터와 부사장이 대답했습니다.
인텔 4의 양산은 오레곤의 D1에서만 합니다. D1C/D1D/D1X를 모두 포함해서 매달 4만장씩 만들고 있는데, 이건 D1의 합계이지 인텔 4가 4만장이라는 건 아닙니다.
아일랜드 팹 34에서 인텔 4를 처음으로 만들었지만 지금은 테스트 칩이 나오는 수준이고 아직 양산은 아닙니다.
올해는 인텔 3도 생산하지만 인텔 4의 개선판입니다.
인텔 4에서 펠리클을 쓰는지는 대답할 수 없습니다. EUV 공정은 광학계를 보호하기 위해 펠리클(보호막)을 씌웁니다. 이것 없이 마스크에 EUV를 직접 쏘면 바로 열화됩니다. 이 펠리클은 ASML에서 라이센스를 받은 미쓰이 화학이 생산 중입니다. 그리고 앞에 뭘 씌우니까 출력이 떨어질 수밖에 없습니다. 가뜩이나 EUV에 필요한 출력이 부족한데 펠리클을 쓰면 더 떨어지는 셈이죠. 또 펠리클이 추가된 만큼 가격도 오릅니다. 이렇게 보면 펠리클을 안 쓰고 해결하면 좋은데 앞서 말한대로 마스크의 수명 문제가 있어서 무작정 안 쓸 수도 없습니다. 그래서 펠리클의 사용 여부가 기술을 가른다고 할 수 있습니다.
현재 인텔 4의 수율은 모릅니다. D1이 모두 인텔 4 공정은 아니고요. 여기에선 인텔 3이나 20A/18A도 개발하고 있기에 모든 기계를 인텔 4의 양산에 쓰진 못합니다. D1에서 만드는 4nm 공정은 한달 1000장 정도나 될 것입니다. 그리고 메테오레이크의 다이는 크지만 인텔 4에서 만드는 건 CPU 타일 뿐입니다. 베이스타일의 크기는 23.1x115mm고 그 중에 CPU 타일의 크기는 8.9x8.3mm으로 보입니다. 그래서 한 장의 웨이퍼에서 730개의 인텔 4 메테오레이크가 나온다는 계산입니다.
그렇다면 인텔 4의 수율이 50%밖에 안 되도 365개의 칩은 나올테고, 매달 1000장씩 웨이퍼를 만든다면 36만 5천개의 CPU 타일이 나온다는 계산입니다. 매달 30만 개씩 만들면 데스크탑 시장 공급은 힘들겠지만 모바일은 댈 수 있을테고, 이걸로도 '양산했다'고 주장할 수는 있을 겁니다.