ASML, 신형 EUV 노광기 3600D 발표. 생산 효율 18% 향상

조회 수 1518 댓글 3

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참고/링크	https://news.mydrivers.com/1/718/718075.htm

ASML이 신형 EUV 노광기인 TWINSCAN NXE:3600D를 발표했습니다. 30mJ/cm2의 출력으로 1시간에 160장의 웨이퍼를 처리, 생산 효율이 18% 향상됐습니다. 또 정밀도도 1.1nm로 개선했습니다.

3600D는 2021년 중에 출시됩니다. 가격은 모릅니다. 구형 제품이 1억 2천만 달러인데 그거보단 비싸겠죠.

현재 ASML의 최신 노광기는 3400C지만 주력 모델은 3400B입니다. 3400B의 정확도는 2nm, 노광 속도는 20mJ/cm2로 1시간에 125장을 처리합니다.

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Comments '3'

라데니안 2020.10.15 03:13

이재용 부회장 네덜란드 출장 갔다더니 이것 때문인가 봅니다요.
슬렌네터 Human is just the biological boot loader for A.I. 2020.10.15 04:36

ASML이 또 UFO 줏엇군요
고재홍 2020.10.15 12:43

출력 단위는 mW인데 뉴스가 틀렸네요. 시간당 160장 처리라면 22.5 초당 웨이퍼 한장 처리라, 노광량은 시간*출력이라 675mJ/cm^2가 됩니다.

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