중국 과학원에서 초고해상도 노광기를 개발 중이라고 합니다. 노광기의 해상력이 높아질수록 더 집적도가 높은 반도체를 만들 수 있습니다. 

 

이 기계는 365나노미터의 파장을 지닌 광원을 사용, 한번 노광으로 22nm 급의 공정 제조가 가능합니다. 더블 패터닝이라면 10nm 공정 제조가 가능합니다. 가격은 1000~2000만 위안 사이.

 

이것과 동급의 ASML 노광가는 이보다 50배 더 비싼 가격, 대충 7천만 달러에 판매된다고 하네요. 그리고 47건의 중국 내 특허와 4건의 해외 특허를 출원했다고 합니다. 

 

가격 차이가 너무 심하게 나서 일단은 그런갑다 하고 있습니다. 상용화까진 어차피 시간이 걸릴테고, 중국 회사들부터 먼저 쓰겠죠.