중국의 노광기 제조사인 SMEE(Shanghai Micro Electronics Equipment)는 올해 말까지 28nm급 공정의 생산이 가능한 리소그래피 스캐너를 출시할 예정입니다.
이 회사의 최신 기기인 SSA/800-10W는 90nm 이상의 공정을 다룰 수 있으나 새 버전에서는 28nm까지 발전합니다.
다만 이게 나와도 실제 생산 공정에 적용하기까지는 시간이 걸리고요. 3/5nm 같은 최신은 말할 것도 없고 14/12nm 급과 비교해도 뒤떨어진 공정이긴 합니다.