SK트리켐의 지르코늄(Zr)계 하이K 물질 품질 문제로 SK하이닉스가 이달 D램 웨이퍼 생산 공정에서 일부 차질이 빚어졌던 것으로 17일 확인됐다.

SK트리켐이 공급한 물질에 불순물이 섞여 있었던 것. 이로 인해 수 대의 SK하이닉스 관련 생산 장비가 일시 가동을 중단했다. SK하이닉스는 "즉각 클리닝 작업 등 조치를 취해 생산 피해는 없었다"고 밝혔다. 다만 장비 가동 중단 및 부품 교체 등 일부 피해에 대해서는 계약 내용에 따라 보상을 요구하는 것을 검토하는 것으로 전해졌다. 

SK하이닉스는 문제가 해결되기 전까지 SK트리켐 재료 조달을 중단시킨 것으로 알려졌다. 이에 대해 SK트리켐 측은 "문제가 된 일부 라인에 대해 재료조달이 축소됐고, 이달 말부터 개선된 품질의 제품을 공급할 예정"이라고 설명했다. 이어 "SK하이닉스에 공급한 물질의 순도에 문제가 있었고, 이로 인해 공정 내 특정장비의 압력이 증가해 (장비) 가동이 중단된 것"이라며 "동일 공정 내 다른 장비에 들어가는 물량은 지속적으로 공급 중"이라고 전했다.

출처 : 전자부품 전문 미디어 디일렉(http://www.thelec.kr)