중국 최초의 12인치 웨이퍼 재생시설이 양산에 성공했다고 발표했습니다. 그 주인공은 Hefei Ultron 반도체로, 중국 내에서 나온 손상되거나 오염된 12인치 웨이퍼를 재사용할 수 있도록 도와줍니다. 

 

반도체 제조와 가공 단계에서 특정 약품을 많이 쓰거나 시간을 잘못 설정하거나 정전이 됐을 경우 가공 중이던 웨이퍼는 쓸 수 없게 됩니다. 이걸 다이아몬드 연마 디스크로 에칭된 층을 갈아내고 화학 연마를 거친 후 씻어내 새 웨이퍼처럼 만드는 것이 웨이퍼 재생입니다. 지금까지는 중국에서 일본으로 보내서 이 작업을 해야 했습니다. 

 

이 공장은 2020년 3월에 건설하기 시작했으며 1억 5400만 달러를 투자했습니다. 1년에 168만 장의 웨이퍼를 재생하며, 앞으로 120만개 분량을 확장할 계획입니다.