ASML의 EUV 노광기는 현재 1세대 제품이 나와 있습니다. EUV 광원 파장은 13.5nm고 대물 렌즈의 NA 구경은 0.33입니다.
그 중 초기 양산 모델은 NXE: 3400B입니다. 1시간에 생산하는 웨이퍼는 125PWH로 많진 않습니다. 현재 주력은 NXE: 3400C로 생산량을 135WPH로 늘렸으며, 올해 말의 NXE: 3600D는 160WPH로 올리지만 가격도 1.45억 달러가 됩니다.
1세대 EUV의 NA 값은 매우 낮습니다. 2세대 EUV 노광기인 NXE:5000 시리즈는 NA 값을 0.55로 늘려 정확도를 높입니다. 1nm 급의 공정에서는 이 차세대 노광기가 필요합니다.
NA 0.55를 달성하는 건 쉽지 않은 일입니다. 원래 2023년에 나올 예정이었으나 3년을 건너뛰고 2025~2026년에나 나올 걸로 보입니다. 또 가격도 3억 달러로 현재 EUV 노광기의 2~3배 수준으로 뜁니다.