50년 전인 1970년, 캐논은 일본 최초의 반도체 노광기인 PPC-1을 출시하면서 리소그래피 장비 시장에 본격적으로 진출했습니다.
캐논은 1960년대 중반, 카메라 렌즈용으로 개발된 기술을 활용해 포토 마스크 제조용 고해상도 렌즈를 개발하고, 웨이퍼 제조를 위한 노광기 개발을 시작했습니다. 1975년에는 더 정밀한 해상도를 달성하는 FPA-141F를 출시했습니다.
나름 역사라서 올려 봅니다. 그런데 요새 캐논 노광기 쪽은 소식을 접해본 게 없네요. 맨날 ASML이나 중국 뿐이고..
wiki 를 봐도 인쇄술을 종류같긴 한데, wafer 에 각인하는 인쇄 복사기(?) 쯤 되는건가요 ?