ASML, 니콘, 캐논은 작년에 413대의 노광기를 팔았습니다. 그 중 ASML이 258대로 62%, 캐논이 122대로 30%, 니콘이 33대로 8%를 차지합니다. 

 

하지만 이 숫자만 보고 판단해선 안됩니다. 값비싼 EUV 노광기는 ASML만 팔았거든요. 그래서 판매액으로 따지면 ASML 91%, 캐논 3%, 니콘 6%가 됩니다. 

 

니콘은 ArF immersion, ArF dry 방식을 주로 판매하며 캐논은 KrF, i-line(이게 69%를 차지)입니다. ASML은 i-line만 빼고 거의 모든 방식에서 1위를 차지하고 있습니다.