2019년 11월 2일, Northrop Grumman의 Cygnus 우저선에 발사됐습니다. 이 우조선은 ISS에서 다양한 실험을 수행하고, 여기에 필요한 여러 짐들을 가져 갔는데요. 그 중에는 EUV 리소그래피도 포함됩니다.
지난 11월에 ISS의 우주 비행사는 궤도 실험실의 외부 플랫폼에서 EUV 리소그래피 실험을 수행했습니다. 태양의 EUV 방사선을 극복하고 EUV 리소그래피를 할 수 있는지가 관건이었는데, 성공했다네요. 극한의 방사선 환경도 버티며 13.5nm와 다른 EUV 파장에서 EUV 방사선을 포착해내는 새로운 EUV 광학 코팅을 만들었습니다.
궁극적으로는 5nm 이하의 공정으로 부품을 만드는 것이 목표입니다. 패터닝에 걸리는 시간도 줄여 나가야 하고요.
그렇다면 우주에서 EUV 리소그래피를 사용해 반도체를 직접 만들 수 있을지도 모릅니다. 물론 우주선이나 달에 본격적인 EUV 생산 장비를 들이기는 힘들겠지만, 소규모 팹을 두고 필요한 부품을 직접 만드는 방법은 생각해 볼 수도 있습니다.
원자재 보면 1Kg당 발사비용이 금괴 십수개나 되는 미친 원가를 어떻게 줄이냐가 관건이겠네요.
이거 해결되면 우주개발에 있어서 혁명이 일어납니다.