ASML의 리소그래피 스캐너 부품을 생산하는 베를린 공장에서 화재가 있었습니다. 공장 시설에 큰 피해는 없었으나 EUV 스캐너의 공급은 일시 중단됐습니다.
생산이 늦어질 경우 올해 55개의 Twinscan NXE:3600D EUV 스캐너를 출시하겠다는 계획에 차질을 빚을 수 있습니다. 최신 공정 팹에는 9~18개의 NXE:3600D가 필요하며 메모리 팹에는 2~9개가 필요합니다.
참고/링크 | https://www.asml.com/en/news/press-relea...sml-berlin |
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ASML의 리소그래피 스캐너 부품을 생산하는 베를린 공장에서 화재가 있었습니다. 공장 시설에 큰 피해는 없었으나 EUV 스캐너의 공급은 일시 중단됐습니다.
생산이 늦어질 경우 올해 55개의 Twinscan NXE:3600D EUV 스캐너를 출시하겠다는 계획에 차질을 빚을 수 있습니다. 최신 공정 팹에는 9~18개의 NXE:3600D가 필요하며 메모리 팹에는 2~9개가 필요합니다.