ASML이 신형 EUV 노광기인 TWINSCAN NXE:3600D를 발표했습니다. 30mJ/cm2의 출력으로 1시간에 160장의 웨이퍼를 처리, 생산 효율이 18% 향상됐습니다. 또 정밀도도 1.1nm로 개선했습니다.
3600D는 2021년 중에 출시됩니다. 가격은 모릅니다. 구형 제품이 1억 2천만 달러인데 그거보단 비싸겠죠.
현재 ASML의 최신 노광기는 3400C지만 주력 모델은 3400B입니다. 3400B의 정확도는 2nm, 노광 속도는 20mJ/cm2로 1시간에 125장을 처리합니다.