ASML의 EUV 노광기 한대 가격은 1.2억 유로 쯤 됩니다. 겁나 비싸지만 삼성이나 TSMC는 당연히 사겠죠.
그러나 ASML의 주력 모델은 여전히 DUV 노광기입니다. 193nm의 자외선을 사용하는 기술로 여기에는 여러 모델이 있는데요.
중국 반도체 회사가 최근 200억 달러를 들여 14nm와 7nm 라인을 구축하는데, 여기에는 ASML의 TWINSCAN NXT:1980Di 노광기가 들어갑니다.
이 DUV 노광기의 경우 EUV 노광기 가격의 60% 정도라고 합니다. 공식 해상도는 38nm 안이며 실제 공정은 10nm까지도 가능합니다. TSMC의 1세대 7nm 공정도 DUV 기반으로 만들어졌습니다.