ASML이 연구 개발중인 신형 노광기의 가격은 4억 달러, 2층 버스 한 대 정도의 크기에 무게는 200톤이라고 합니다. 2023년 상반기에 프로토타입이 완성돼 2025년에 첫 상용화를 시작하며 2026년~2030년에 주력 모델로 출시됩니다.
이 노광가의 이름은 High-NA EXE:5200이며 개구율은 0.55NA입니다. 인텔이 이 노광가를 가장 먼저 주문한 회사이며 2nm 공정에서는 이 정도의 개구율이 필요합니다.
참고/링크 | https://news.mydrivers.com/1/833/833696.htm |
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ASML이 연구 개발중인 신형 노광기의 가격은 4억 달러, 2층 버스 한 대 정도의 크기에 무게는 200톤이라고 합니다. 2023년 상반기에 프로토타입이 완성돼 2025년에 첫 상용화를 시작하며 2026년~2030년에 주력 모델로 출시됩니다.
이 노광가의 이름은 High-NA EXE:5200이며 개구율은 0.55NA입니다. 인텔이 이 노광가를 가장 먼저 주문한 회사이며 2nm 공정에서는 이 정도의 개구율이 필요합니다.