ASML이 중국에 DUV 노광 장비를 수출하는 허가를 네덜란드 정보에서 받았습니다. 미국 정부의 허가는 따로 필요 없다고 합니다.
하지만 EUV 장비에 대해서는 언급이 없었습니다. 최신 공정을 만드려면 사실상 EUV가 필수지요. DUV는 EUV에 비해서 상대적으로 구형 취급을 받고 있고요.
참고/링크 | https://news.mydrivers.com/1/718/718543.htm |
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ASML이 중국에 DUV 노광 장비를 수출하는 허가를 네덜란드 정보에서 받았습니다. 미국 정부의 허가는 따로 필요 없다고 합니다.
하지만 EUV 장비에 대해서는 언급이 없었습니다. 최신 공정을 만드려면 사실상 EUV가 필수지요. DUV는 EUV에 비해서 상대적으로 구형 취급을 받고 있고요.