ASML의 Anthony Yen 부사장은 만약 EUV 노광기가 없다면 어떤 제조사도 7nm 이하 공정으로 칩을 만들지 못할 것이라고 말했습니다.
TSMC의 1세대 7nm 공정은 EUV를 사용하지 않지만, 7nm 다음은 EUV 없이 만들기가 매우 어려운 것이 사실입니다. 멀티 패터닝으로 5nm를 만들 순 있어도 제조 단가와 수율 문제 때문에 EUV를 써야 합니다.
그리고 ASML은 세계에서 유일한 EUV 노광기 제조사입니다.
참고/링크 | http://news.mydrivers.com/1/698/698440.htm |
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ASML의 Anthony Yen 부사장은 만약 EUV 노광기가 없다면 어떤 제조사도 7nm 이하 공정으로 칩을 만들지 못할 것이라고 말했습니다.
TSMC의 1세대 7nm 공정은 EUV를 사용하지 않지만, 7nm 다음은 EUV 없이 만들기가 매우 어려운 것이 사실입니다. 멀티 패터닝으로 5nm를 만들 순 있어도 제조 단가와 수율 문제 때문에 EUV를 써야 합니다.
그리고 ASML은 세계에서 유일한 EUV 노광기 제조사입니다.