칭화유니의 자회사인 장강 스토리지가 7200만 달러에 달하는 ASML의 노광 장비를 구입해서 14-20nm 공정 웨이퍼 생산에 사용합니다.
여기에서 구입한 ASML의 노광 장비는 전통적인 193nm 액침 노광기며, 낸드 플래시 분야에서 14~20nm면 아직까진 꽤 괜찮은 편입니다. 삼성이 3D 낸드를 처음 시작했을 때 34nm였으니까요.
참고/링크 | http://www.expreview.com/61463.html |
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칭화유니의 자회사인 장강 스토리지가 7200만 달러에 달하는 ASML의 노광 장비를 구입해서 14-20nm 공정 웨이퍼 생산에 사용합니다.
여기에서 구입한 ASML의 노광 장비는 전통적인 193nm 액침 노광기며, 낸드 플래시 분야에서 14~20nm면 아직까진 꽤 괜찮은 편입니다. 삼성이 3D 낸드를 처음 시작했을 때 34nm였으니까요.