반도체 제작의 핵심 공정인 노광 부문 제조 기계의 선두주자.. 최신 공정에선 거의 독점 수준인 ASML이 중국 시장에 진출할지도 모른다는 소식입니다.

 

반도체 제조 공정이 10nm로 접어들면서 제작 난이도가 갈수록 어려워지고 있습니다. 지금 쓰이는 193nm 파장 레이저로는 앞으로 7nm, 5nm 공정의 수요를 대비하기 힘듭니다. 그래서 나온 것이 EUV 노광 기술인데 이 노광 자체가 꽤나 어렵습니다. 10년 전에 인텔이 EUV 기술 회사와 파트너쉽을 맺었다는 소식이 있었으나 지금까지도 기술 발전이 무르익지 않아, EUV 노광기가 매우 적은 수량만 판매되고 있지요.

 

TSMC와 삼성은 2세대 7nm 노드에서 EUV를 쓸 것이라고 밝혔습니다. 앞으로 최신 공정에서 EUV는 거의 필수나 다름 없다고 봐도 무방할 것입니다. 그리고 ASML이 인텔, TSMC, 삼성에게서 투자를 받아 EUV 기기를 만들고 있는데, 이들 회사는 EUV 기기의 가장 큰 고객이기도 합니다. ASML은 작년 4분기에 EUV 기기의 주문이 18대가 들어왔고, 액수로는 20억 유로라 밝혔습니다. 한대당 1억 유로 쯤 되겠네요.

 

그런 ASML이 중국 시장에 진출을 선언했습니다. 중국 상하이에 집적 회로 개발 센터 ICRD를 세우기로 하고, ASML의 고객들의 지원을 맡을 거라고 하네요. 델이나 레노버의 조선족 상담원이 생각나긴 하는데..

 

잡설이 길었지만 EUV 노광기는 중국에 들어올 수 없습니다. 유럽과 미국이 중국에 최신 기술 장비의 수출을 제한하고 있거든요. 그래서 중국내 반도체 회사들은 돈이 있어도 EUV 기기를 사지 못합니다.